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    氣體知識

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    電子氣體在高新技術中的應用

    2012-2-14 15:23:42

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        進入20世紀90年代以后，隨著我國高新技術的快速發(fā)展，計算機工業(yè)對大規(guī)模集成電路、液晶顯示器的需求大量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國大力開拓了多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導體器件（GaAs、InP、AlGaAs）、光纖通訊器件也獲得迅猛發(fā)展，在上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。
     
    大規(guī)模集成電路
    化學氣相沉淀：SiH4，NH3，O2，N2O，TEOS（四乙氧基硅）
    化學刻蝕：CF4，SF6，NF3，Cl2，CCl，BCl3，KrF，ArF，HBr，HCl
    化學摻雜：BF3，B2H6，PH3，AsH3
     
    液晶屏
    化學氣相沉淀：SiH4，SiNx
    化學刻蝕：SF6，HCl，Cl2
     
    太陽能電池
    化學氣相沉淀：SiH4，PH3，NF3
    擴散、刻蝕：POCl3，O2，CF4
     
    光電半導體
    化學氣相沉淀：AsH3，PH3，NH3，N2，H2
    化學刻蝕：BCl3，Cl2
     
    光導纖維
    化學氣相沉淀：SiH4，SiCl4，D2，GeCl4
    化學刻蝕：CF4，KrF，ArF，Cl2，SF6

     
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